La série M offre des performances exceptionnelles pour la mesure de l'épaisseur des revêtements sur les plus petites fonctionnalités. Son système optique poly-capillaire avancé — plus perfectionné que celui de la série O — concentre le faisceau de rayons X jusqu’à une finesse extrême de 7,5 μm FWHM. Pour prendre en charge une telle précision, le système intègre une caméra à fort grossissement (140x) avec un zoom numérique amélioré. Comme le champ de vision se réduit à fort grossissement, une seconde caméra capture une image macro de la pièce à mesurer. Ce système à double caméra permet à l’utilisateur de visualiser l’ensemble de la pièce, de cliquer sur une zone de l’image macro, puis de zoomer automatiquement avec la caméra à fort grossissement pour cibler précisément la caractéristique à analyser.

Une platine XY programmable haute précision permet de sélectionner et de mesurer plusieurs points, manuellement ou automatiquement via le logiciel de reconnaissance de formes intégré. Pour une analyse plus étendue, un système de cartographie 2D permet de visualiser la topographie du revêtement sur des surfaces telles que les tranches de silicium.

La configuration standard comprend une optique de 15 μm et un détecteur LSDD haute résolution, capable de traiter des taux de comptage élevés. Une platine d’échantillons XY programmable est également incluse. En raison de la courte distance focale du système optique, les échantillons mesurés avec la série M doivent être plats.